該系統采用帶背光寬溫點(diǎn)陣型液晶顯示器，所有顯示都是中文,功能多而實(shí)用，特別方便使用者操作，減少不必要的麻煩和錯誤。該系統無(wú)需預熱、瞬間啟動(dòng)的特點(diǎn)使得系統在短短一秒鐘內就能開(kāi)始控制真空鍍膜過(guò)程系統的流量，實(shí)時(shí)測量顯示質(zhì)量流量、體積流量、 壓力和溫度參數， 并將運用溫度與壓力對流量參數進(jìn)行充分補充。氣體模塊程序直接通過(guò)質(zhì)量流量控制器自帶的屏幕顯示，并可直接通過(guò)屏蒂按鈕操作切換氣體種類(lèi)。

　　該系統的主要優(yōu)點(diǎn)有：

　　1、地定量控制流量：

　　該儀器可以有效地控制氣體的給定量，這對很多工藝過(guò)程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。

 

　　2、適用范圍寬：

　　有很寬的工作壓力范圍，我們的系統可以從真空直到10MPa；可以適用于多種氣體介質(zhì)；有很寬的流量范圍，我們的系統小流量范圍可達0～5sccm，大流量范圍可達0～200slm。流量顯示的分辨率可達滿(mǎn)量程的0.1%，流量控制范圍是滿(mǎn)量程的2~100%（量程比為--50:1），因此質(zhì)量流量控制系統在很多領(lǐng)域得到廣泛應用。

 

　　3、流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準：

　　對于多數流量測控系統而言，很難避免系統的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動(dòng)將導致較大的誤差；對于質(zhì)量流量控制器則一般可以忽略不計。

 

　　4、測量控制的自動(dòng)化：

　　該系統可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實(shí)現對流量的數字顯示﹑累積流量自動(dòng)計量﹑數據自動(dòng)記錄﹑計算機管理等。對質(zhì)量流量控制系統而言，還可以實(shí)現流量的自動(dòng)控制。通常，模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA，數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口，該系統能非常方便地與計算機連接，進(jìn)行自動(dòng)控制。