立式管式電爐組成的CVD系統設備由沉積溫度控件、沉積反應室、真空控制部件和氣源控制備件等部分組成亦可根據用戶(hù)需要設計生產(chǎn)，CVD系統除了主要應用在碳納米材料制備行業(yè)外，現在正在使用在許多行業(yè)，包括納米電子學(xué)、半導體、光電工程的研發(fā)、涂料等領(lǐng)域。

爐門(mén)開(kāi)啟自動(dòng)斷電功能，使爐門(mén)打開(kāi)后自動(dòng)斷電。超溫保護功能，當溫度超過(guò)允許設定值后，自動(dòng)斷電及報警。漏電保護功能，當爐體漏電時(shí)自動(dòng)斷電。以上功能確保了使用的安全性。

一、操作便捷性：

1、氣路連接方式采用了快速連接法蘭結構。

2、使取放物料過(guò)程簡(jiǎn)化，只需一支卡箍便可完成氣路連接，方便操作。

3、取消了復雜的法蘭安裝過(guò)程，減少了爐管因安裝造成損壞的可能。

二、結構實(shí)用性：

1、1200℃立式管式電爐系列：加熱爐膛有左右兩部分組成，其中右部爐膛可整體向右翻轉110°，方便取放、觀(guān)察實(shí)驗物料，爐膛材料采用的多晶莫來(lái)纖維真空吸附制成，節能50%，溫場(chǎng)均勻。電熱元件采取高電阻合金絲0Cr27Al7Mo2。

2、密封法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)，有效的提高了爐管兩端的氣密性。氣路具有進(jìn)出氣微量可調功能。

3、兩端氣路支架，支撐著(zhù)氣路裝置。有效消除了氣路總成自身的應力，杜絕了因自身應力而造成的爐管損壞。

4、空氣隔熱技術(shù)，結合熱感應技術(shù)，當爐體表面溫升到達50℃時(shí)，排溫風(fēng)扇將自動(dòng)啟動(dòng)，使爐體表面快速降溫。

三、使用安全性：

1、爐膛開(kāi)啟自動(dòng)斷電功能，使爐門(mén)打開(kāi)后自動(dòng)斷電。

2、超溫保護功能，當溫度超過(guò)允許設定值后，自動(dòng)斷電及報警。

3、漏電保護功能，當爐體漏電時(shí)自動(dòng)斷電。以上功能確保了使用的安全性。

四、控制智能化：

1、電爐溫度控制系統采用人工智能調節技術(shù)，具有PID調節、模糊控制、自整定功能，并可編制各種升降溫程序。

2、國產(chǎn)程序控溫系統可編輯50段程序控溫，進(jìn)口程序控溫系統可編輯40段程序控溫。

3、電爐內配置有485轉換接口，可選配軟件實(shí)現與計算機相互連接。完成與單臺或多達200臺電爐的遠程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。

五、周邊拓展性：

1、真空控制系統。通過(guò)各種真空控制系統，可以實(shí)現樣品在低、中、高真空環(huán)境下進(jìn)行試驗。

2、氣體流量控制系統。通過(guò)浮子或質(zhì)量流量控制器調節進(jìn)氣量，以滿(mǎn)足用戶(hù)在不同反應氣氛或保護氣氛條件下的實(shí)驗要求。

顯示畫(huà)面有儀表屏、光柱圖、實(shí)時(shí)曲線(xiàn)、歷史曲線(xiàn)、數據報表、全中文觸摸式操作，功能并且使用方便。